Ртутные короткодуговые лампы НВО для микролитографии
|
Обозначение для заказа
|
Номер заказа
|
Род тока
|
Номинальная мощность, Вт
|
Напряже23н65,2ие, В
|
Номинальный ток, А
|
|
HBO 1500 W/PI 3)
|
4050300585956
|
DC
|
1500
|
23
|
65,2
|
|
HBO 1500 W/CIL
|
4050300461458
|
DC
|
1500
|
23
|
65,5
|
|
HBO 2001 W/NIL
|
4050300461489
|
DC
|
1750
|
26
|
67
|
|
О6означение для заказа
|
Сила излучения при 350 … 450 нм
|
Срок службы, ч
|
Форсированное охлаждение
|
Рабочее положение
|
Диаметр d, мм
|
Длина L1 max, мм
|
|
HBO 1000 W/NEL
|
4850
|
850 3)
|
форсированное
|
вертик. 4)
|
46
|
263
|
| | | |
охлаждение цоколя
| | | |
|
HBO 1002 W/NIL
|
4850
|
1500
|
форсированное
|
вертик. 4)
|
50
|
262
|
| | | |
охлаждение цоколя
| | | |
|
HBO 1003 W/PI 4)
|
5500
|
1500
|
форсированное
|
вертик. 4)
|
52
|
251
|
| | | |
охлаждение цоколя
| | | |
|
О6означение для заказа
|
Длина L2 max, мм
|
Расстояние а, мм
|
Межэлектродное расстояние, мм
|
Цоколь - катод
|
Цоколь - анод
|
Рис. №
|
|
HBO 1000 W/NEL
|
242
|
118
|
4
|
SFс27-10/35
|
SFс30-6/25 6)
|
1
|
|
HBO 1002 W/NEL
|
242
|
122
|
4
|
SFа27-20/22 5)
|
SFа27-10/35 7)
|
2
|
|
HBO 1002 W/NIL
|
231
|
112
|
4,5
|
SFсХ27-7/35 5)
|
SFс27-10/35
|
3
|
DC = постоянный ток
1) расстояние от основания цоколя до острия анода или катода (в холодном состоянии)
2) максимально допустимая температура цоколя: 200 градусов Цельсия
3) возможна также поставка модели с увеличенным сроком службы - НВО 1500 W/PIL, 1500 ч
4) анод внизу
5) с кабельным вводом (М 8)
6) электродный радиатор с кабельным вводом (М 8)
7) с кабельным вводом (М 10)
Безопасность:
Эксплуатация ламп НВО разрешена только в специальных закрытых корпусах, что обусловлено их высокой яркостью, ультрафиолетовым излучением и высоким внутренним давлением.
В случае растрескивания лампы происходит высвобождение ртути. Следует соблюдать особые требования по обеспечению безопасности.
|
|
