Ртутные короткодуговые лампы НВО для микролитографии
Обозначение для заказа
|
Номер заказа
|
Род тока
|
Номинальная мощность, Вт
|
Напряжение, В
|
Номинальный ток, А
|
Срок службы, ч
|
HBO 1000 W/NEL
|
4050300412603
|
DC
|
750 (700/1000) 2)
|
47
|
16
|
2500
|
HBO 1002 W/NEL
|
4050300412610
|
DC
|
750 (700/1000) 2)
|
47
|
16
|
2500
|
HBO 1002 W/NIL
|
4050300461427
|
DC
|
750 (700/1000) 2)
|
25,8
|
27,1
|
1500
|
HBO 1003 W/PI 4)
|
4050300739540
|
DC
|
750 (700/1000) 2)
|
25,8
|
27,1
|
850
|
О6означение для заказа
|
Излучение при 350 … 450 нм
|
Сила излучения при 350 … 450 нм
|
Форсированное охлаждение
|
Рабочее положение
|
Диаметр d, мм
|
Длина L1 max, мм
|
HBO 1000 W/NEL
|
82,3
|
8300
| |
вертик. 6)
|
28
|
190
|
HBO 1002 W/NEL
|
82,3
|
8300
|
конвекция 5)
|
вертик. 6)
|
28
|
190
|
HBO 1002 W/NIL
|
18,7 3)
|
2400 3)
|
форсированное
|
вертик. 6)
|
29
|
187
|
| | |
охлаждение цоколя
| | | |
HBO 1003 W/PI 4)
|
18,7 3)
|
2400 3)
|
форсированное
|
вертик. 6)
|
29
|
195
|
| | |
охлаждение цоколя
| | | |
О6означение для заказа
|
Длина L2 max, мм
|
Расстояние а, мм
|
Межэлектродное расстояние, мм
|
Цоколь - катод
|
Цоколь - анод
|
Рис. №
|
HBO 1000 W/NEL
|
168
|
84,5
|
3
|
SFаХ14-5/21 7)
|
SFа15-5/16 11)
|
1
|
HBO 1002 W/NEL
|
168
|
78,5
|
3
|
SFс15-6/25 8)
|
SFаХ14-5/21 7)
|
2
|
HBO 1002 W/NIL
|
168
|
78,5
|
3
|
SFсХ15-6/25 9)
|
SFаХ14-5/21 12)
|
3
|
HBO 1003 W/PI 4)
|
167,5
|
85
|
3
|
SFс15-6/25 7)
|
SFсХ14-6/25 10)
|
4
|
DC = постоянный ток
1) расстояние от основания цоколя до острия анода или катода (в холодном состоянии) 2) лампа подходит для работы в импульсном режиме в диапазоне от 700 Вт до 1000 Вт; максимально допустимое потребление в режиме постоянной мощности составляет 750 Вт 3) значение I-линии в диапазоне 365+-2,5 нм 4) возможна также поставка модели с увеличенным сроком службы - НВО 1003 W/PIL, 1500 ч 5) электродный радиатор на цоколе катода 6) анод внизу 7) гильзовый цоколь с электродным радиатором и кабельным вводом (М5) 8) гильзовый цоколь с резьбовым штырьком (М6) 9) с резьбовым штырьком М6 10) с электродным радиатором 11) гильзовый цоколь без резьбы 12) гильзовый цоколь с кабельным вводом (М5)
|
|