Ртутные короткодуговые лампы НВО для микролитографии

Обозначение для заказа	Номер заказа	Род тока	Номинальная мощность, Вт	Напряжение, В	Номинальный ток, А
HBO 2500 W/PIL	4050300947396	DC	2500	28	90
HBO 2501 W/NIL	4050300947297	DC	2500	23	109
HBO 2510 W/NIL	4050300947433	DC	2500	23	109
HBO 3500 W/PI 3)	4050300947495	DC	3400	23	148
HBO 3501 W/PI 3)	4050300947518	DC	3400	23	148

О6означение для заказа	Сила излучения при 350 … 450 нм	Срок службы, ч	Форсированное охлаждение 2)	Рабочее положение	Диаметр d, мм	Длина L1 max, мм
HBO 2500 W/PIL	8200	1500	форсированное	вертик. 4)	62	350
			охлаждение цоколя
HBO 2501 W/NIL	10600	1500	форсированное	вертик. 5)	70	367
			охлаждение цоколя
HBO 2510 W/NIL	7800	1500	форсированное	вертик. 4)	70	367
			охлаждение цоколя
HBO 3500 W/PI 3)	9000	850	форсированное	вертик. 4)	77	360
			охлаждение цоколя
HBO 3501 W/PI 3)	9000	850	форсированное	вертик. 4)	77	360
			охлаждение цоколя

О6означение для заказа	Длина L2 max, мм	Расстояние а, мм  1)	Межэлектродное расстояние, мм	Цоколь - катод	Цоколь - анод	Рис. №
HBO 2500 W/PIL	315	149	6,7	SFс30-6,5/50	SFс30-6/50 6)	2
HBO 2501 W/NIL	327	157,75	4,5	SFс33,5-14/50	SFа35,5-12/50 7)	1
HBO 2510 W/NIL	327	157,75	4,5	SF9с27-14/50	SFс33,5-12/50 7)	4
HBO 3500 W/PI 3)	322	154	4,5	SFс32,5-6,7/50	SFаХ40-6/50 6)	3
HBO 3501 W/PI 3)	322	154	4,5	SFс32,5-6,7/50	SFаХ40-6/50 6)	3

DC = постоянный ток


1) расстояние от основания цоколя до острия анода или катода (в холодном состоянии)
2) максимально допустимая температура цоколя: 200 градусов Цельсия
3) возможна также поставка модели с увеличенным сроком службы - НВО 1500W/PIL, 1500 ч
4) анод вверху
5) анод внизу
6) с электродным радиатором и кабельным вводом (М 10)
7) с кабельным вводом (М 8)

Утилизация:
Газоразрядные лампы НВО содержат небольшое количество вредных для окружающей среды веществ (например, ртути), поэтому они должны утилизироваться как специальные отходы.