Ртутные короткодуговые лампы НВО для микролитографии
Обозначение для заказа
|
Номер заказа
|
Род тока
|
Номинальная мощность, Вт
|
Напряжение, В
|
Номинальный ток, А
|
Срок службы, ч
|
HBO 250 W/BY
|
4050300803432
|
DC
|
250
|
40
|
6,5
|
2000
|
HBO 350 W
|
4050300351599
|
DC
|
350 2)
|
67,5
|
5,3
|
600
|
HBO 350 W/S
|
4050300258041
|
DC
|
350
|
68
|
5,15
|
600
|
HBO 500 W/A
|
4050300021089
|
DC
|
500
|
60
|
8,3
|
800
|
HBO 500 W/B
|
4050300275819
|
DC
|
500
|
48,5
|
10,3
|
800
|
О6означение для заказа
|
Излучение при 350 … 450 нм
|
Сила излучения при 350 … 450 нм
|
Форсированное охлаждение
|
Рабочее положение
|
Диаметр d, мм
|
HBO 250 W/BY
|
-
|
-
|
конвекция 3)
|
вертикальн. 4)
|
20
|
HBO 350 W
|
46
|
4600
|
конвекция 3)
|
вертикальн. 4)
|
20
|
HBO 350 W/S
|
50
|
4700
|
конвекция 3)
|
вертикальн. 4)
|
20
|
HBO 500 W/A
|
61
|
6200
|
конвекция 3)
|
вертикальн. 4)
|
29
|
HBO 500 W/B
|
60
|
5800
|
конвекция 3)
|
вертикальн. 4)
|
29
|
О6означение для заказа
|
Длина L1 max, мм
|
Длина L2 max, мм
|
Расстояние а, мм
|
Межэлектродное расстояние, мм
|
Тип цоколя
|
Рис. №
|
HBO 250 W/BY
|
152
|
125
|
62
|
2
|
SFс13-5
|
4
|
HBO 350 W
|
128
|
102
|
45
|
2,9
|
SFcY10-4 5)
|
1
|
HBO 350 W/S
|
127
|
103
|
52,5
|
3
|
SFcY10-4 5)
|
1
|
HBO 500 W/A
|
190
|
161,5
|
73
|
4,5
|
SFcY13-5 6)
|
2
|
HBO 500 W/B
|
180
|
151,5
|
78,5
|
3
|
SFcY1013-5/20 7)
|
3
|
DC = постоянный ток
1) расстояние от основания цоколя до острия анода или катода (в холодном состоянии) 2) лампа подходит для работы в импульсном режиме в диапазоне от 250 Вт до 500 Вт; максимально допустимое потребление в режиме постоянной мощности составляет 350 Вт 3) электродный радиатор на цоколе катода 4) анод внизу 5) с резьбой 8-32 UNC-3 A 6) с резьбой М5 х 0,9 7) Анод: SXFc13-5/20, шестиугольный цоколь с резьбой М5 х 0,9 Катод: SXFc13-5/20 с резьбой М5 х 0,9
|
|